Handbook of silicon semiconductor metrology

Saved in:
Bibliographic Details
Other Authors: Diebold, Alain (Editor)
Format: Book
Language: English
Published: New York : Marcel Dekker, c2001
Subjects:
ISBN: 0824705068
Physical Description: xvi, 874 s. : il.

Cover

Table of contents

LEADER 00805cam a22002417a 4500
001 5634
003 CZ ZlUTB
005 20190825231949.0
008 031114s2001 xxu|||||r|||||||||||eng|d
020 |a 0824705068 
040 |a ZLD002  |b cze  |c ZLD002  |d ZLD002 
080 |a 621.3.08  |2 v 
080 |a 621.31  |2 v 
245 0 0 |a Handbook of silicon semiconductor metrology /  |c edited by Alain C. Diebold 
260 |a New York :  |b Marcel Dekker,  |c c2001 
300 |a xvi, 874 s. :  |b il. 
650 0 4 |a MĚŘENÍ 
650 0 7 |a polovodiče  |7 ph124272  |2 czenas 
700 1 |a Diebold, Alain  |4 edt 
910 |a ZLD002 
992 |a BK 
999 |c 5634  |d 5634 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62131HANDBOOK  |7 0  |8 BOOK  |9 9437  |a UTBZL  |b UTBZL  |c 007  |d 2006-07-29  |o 621.31/HANDBOOK  |p 420010082791  |r 2019-08-25  |v 7173.00  |w 2019-08-25  |x změnit signaturu  |x N:nákup  |y 08