rdf-syntax-grammar
mods:
  schema location: http://www.loc.gov/mods/v3 http://www.loc.gov/standards/mods/v3/mods-3-2.xsd
  title info:
    title: 3D and circuit integration of MEMS
  name:
    name part: Esashi, Masayoshi
    name part: 1949-
    role:
      role term: creator
    role:
      role term: author.
  type of resource: text
  genre: elektronické knihy
  genre: kolektivní monografie
  genre: electronic books
  genre: collective monographs
  origin info:
    place:
      place term: gw
    date issued: 2021
    issuance: monographic
  language:
    language term: eng
  physical description:
    form: remote
    extent: 1 online zdroj
  target audience: specialized
  note: Masayoshi Esashi.
  note: Plný text je dostupný pouze z IP adres počítačů Univerzity Tomáše Bati ve Zlíně nebo vzdáleným přístupem pro zaměstnance a studenty univerzity
  subject:
    topic: mikroelektromechanické systémy
  subject:
    topic: integrované obvody
  subject:
    topic: křemík
  subject:
    topic: microelectromechanical systems
  subject:
    topic: integrated circuits
  subject:
    topic: silicon
  classification: 621.38.049.77-022.53
  classification: 621.3.049.77
  classification: 546.28
  classification: (0.034.2:08)
  classification: (048.8:082)
  identifier: 9783527823239
  identifier: 9783527823253
  identifier: 9783527823246
  identifier: 9783527346479
  identifier: https://proxy.k.utb.cz/login
  access condition: Plný text je dostupný pouze z IP adres počítačů Univerzity Tomáše Bati ve Zlíně nebo vzdáleným přístupem pro zaměstnance a studenty univerzity
  record info:
    record content source: UKAHL
    record creation date: 201211
    record change date: 20251008112128.0
    record identifier: 107912
    language of cataloging:
      language term: eng